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  • 勻膠旋涂儀通過高速旋轉(zhuǎn)基片,利用離心力將滴加在基片表面的膠液均勻鋪展,形成納米至微米級厚度的薄膜。勻膠旋涂儀的構成:1、旋轉(zhuǎn)平臺:放置基底的核心部件,通常采用真空吸附或機械夾持固定基底,材質(zhì)多為耐腐蝕金屬或陶瓷。2、驅(qū)動系統(tǒng):由高精度電機驅(qū)...
  • 紫外臭氧清洗機憑借其在清潔、環(huán)保節(jié)能、安全可靠等多方面的優(yōu)勢,在現(xiàn)代工業(yè)及科研等領域發(fā)揮著重要作用。隨著技術的不斷發(fā)展與完善,其應用范圍還將持續(xù)拓展,為各行業(yè)的表面處理提供解決方案,助力推動相關產(chǎn)業(yè)向更高質(zhì)量、更可持續(xù)方向發(fā)展。紫外臭氧清洗...
  • 烤膠機是一種是一種設計為準確控溫、準確計時、高熱均勻性的高性能實驗室設備,可實現(xiàn)定時控溫烤膠操作,主要用于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝的制版的表面涂覆后薄膜烘干、固化。烤膠機的應用領域:1、半導體制造:用于前烘、堅膜...
  • 等離子去膠機是一種利用低溫等離子體技術去除半導體、微電子、光電等領域中光刻膠殘留的設備,其原理基于等離子體的物理和化學作用,能夠高效、環(huán)保地去除有機污染物,廣泛應用于芯片制造、封裝測試等工藝環(huán)節(jié)。氣體電離:在真空腔體內(nèi),通過射頻(RF)電源...
  • 在芯片制造、傳感器開發(fā)或微機電系統(tǒng)(MEMS)生產(chǎn)中,材料的微米甚至納米級加工是決定產(chǎn)品性能的關鍵。RIE反應離子刻蝕機傳感器表面的微結構需要準確到微米級厚度,它通過物理轟擊與化學反應的協(xié)同作用,成為半導體和微納制造領域的核心技術工具。RI...
  • 等離子表面處理儀是一種在材料表面改性領域發(fā)揮著關鍵作用的設備,它利用等離子體這一特殊的物質(zhì)形態(tài),對材料表面進行準確的處理,從而改善材料的表面性能,滿足不同行業(yè)對材料性能的多樣化需求。等離子體是一種由帶電粒子(如離子、電子)和中性粒子(如原子...
  • RIE反應離子刻蝕機是在真空系統(tǒng)中利用分子氣體等離子來進行刻蝕的,利用了離子誘導化學反應來實現(xiàn)各向異性刻蝕,即是利用離子能量來使被刻蝕層的表面形成容易刻蝕的損傷層和促進化學反應,同時離子還可清除表面生成物以露出清潔的刻蝕表面的作用。RIE反...
  • 紫外臭氧清洗機的工作原理基于紫外線(UV)與臭氧(O2)的協(xié)同作用。紫外線照射能夠激發(fā)空氣中的氧氣分子(O2),使其分解為氧原子(O),隨后這些氧原子與周圍的氧氣分子結合,生成臭氧。臭氧作為一種強氧化劑,能夠迅速與材料表面的有機污染物發(fā)生化...
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